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產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 采用質(zhì)量流量計(jì)， 氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻?/span> 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
◆ 采用多孔道進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。
◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ 316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。
◆ 全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)。
◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。
◆ 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)備占用空間小。
◆ 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。
◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
◆ 使用成本低、耗損小。
◆ 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)，簡(jiǎn)單方便。
◆ 安全保護(hù)，艙門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源。
◆ 機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
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2024-07-26